Kapacitiva givare

Den kapacitiva givaren används för mätning av absoluttryck.

Själva sensorn består av ett membran i en metallegering (vanligtvis inconel). Membranet sitter med ena sidan emot vakuumsystemet och den andra emot en referenskammare i en så kallad kondensator som också är under vakuum. När membranet förändrar sig på grund av tryckpåverkan emot membranet så förändras kapacitansen (den elektriska lagringsmöjligheten). Förändringen omvandlas sedan till en signal och är direkt proportionell mot trycket.

De kapacitiva givarna beställs med olika mätområden och anges i Torr (1330-,10E-5 Torr). De finns också i varianter som är temperaturkompenserade.

Givartypen kan med fördel användas i följande applikationer:

• Absoluttryckmätning i system med gasblandningar
• Förångnings och beläggningssystem
• Halvledarindustri (CVD, plasma etsning etc.)
• Jon implementering
• Lamptillverkning
• Kylning och luftkonditioneringsteknik

Letar du efter en noggrann givare med mycket liten avvikelse (osäkerhet), så har du kanske hittat rätt givare. I vår katalog hittar du våra kapacitiva givare, är det något du undrar över så hör gärna av dig till oss.