Kallkatod jonisation (Penning)

Kallkatod givaren, eller Penning som man också säger, mäter vakuum ifrån väldigt låga tryck (E-9/E-8) upp till E-2 området, och i kombination med en pirani hela vägen upp till atmosfärstryck.

Genom att applicera en hög spänning över en elektrisk krets, joniserar givaren gaspartiklar i systemet. De joniserade partiklarna styrs sedan via en magnet vidare till katoden. Genom att mäta strömmen i de joniserade partiklarna (i gasen) omvandlas mätningarna till en signal som är proportionell till aktuellt tryck. Principen fungerar också vid väldigt låga tryck.

Givaren är robust och har en relativt lång livslängd.

Exempel på applikationer:

• Metallurgi
• Sputtering och beläggning
• SEM (mikroskop)
• Processindustri (blandat)
• Vakuumhärdugnar
• Masspektrometri